Diese Methode verwendet ein induktiv gekoppeltes Plasma (meist Argon) um ein optisches Emissionsspektrum der Probe zu generieren. Mithilfe eines Echelle-Polychromators und entsprechenden CCD- oder SCD-Chips werden die emittierten Elementlinien detektiert und qualitativ sowie quantitativ ausgewertet. Als sogenannte „Multielementmethode“ können hiermit mehrere Elemente in einer Probe simultan bestimmt werden.
